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工廠車間凈化工程具有維持原先所設定要求之潔凈度、溫濕度及壓力等性能主要作用在于控制產品如硅芯片等所接觸的潔凈度及溫濕度，使產品在一個良好的環境空間中生產、制造，它分為一下四個等級：

工廠車間凈化工程具有維持原先所設定要求之潔凈度、溫濕度及壓力等性能主要作用在于控制產品如硅芯片等所接觸的潔凈度及溫濕度，使產品在一個良好的環境空間中生產、制造，它分為一下四個等級：
1、百級無塵車間0.5微米的最大容許粒子濃度小于3520（pc/m3)，5微米的最大容許粒子濃度小于293(pc/m3)。
2、千級無塵車間0.5微米的最大容許粒子濃度小于35200(pc/m3)，5微米的最大容許粒子濃度小于2930(pc/m3)。
3、萬級無塵車間0.5微米的最大容許粒子濃度小于352000(pc/m3),5微米的最大容許粒子濃度小于29300(pc/m3)。
4、十萬級無塵車間0.5微米的最大容許粒子濃度小于3520000(pc/m3)，微米的最大容許粒子濃度小于293000(pc/m3)。